高純六氟化硫在常溫常壓下呈氣態(tài),裝瓶后為高壓液體。無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)毒、不燃。具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性。近年來(lái)在許多消費(fèi)技術(shù)范疇中,越來(lái)越顯現(xiàn)出它的重要性。高純六氟化硫是我國(guó)科研、消費(fèi)等許多部門急需的特種氣休。
在半導(dǎo)體工業(yè)巾用于等離子蝕刻工藝,在光導(dǎo)纖維制造中用作隔離層摻雜劑。還是重要的激光資料,在其它范疇也有重要用處。由于良好的絕緣性和滅弧性,氣體被普遍應(yīng)用于電器工業(yè),如斷路器、高壓開關(guān)、高壓變壓器、高壓傳輸線、互感器等。詳細(xì)的應(yīng)用表現(xiàn)在以下幾方面。
高純六氟化硫還因化學(xué)惰性及無(wú)毒、不燃及無(wú)腐蝕性,普遍用于金屬冶煉及大氣示蹤、電子制造等行業(yè),電子級(jí)高純的拂曉六氟化硫是一中理想的電子蝕刻劑,大量應(yīng)用于微電子等技術(shù)范疇。冷凍工業(yè)中,高純六氟化硫可作為致冷劑,拂曉六氟化硫致冷范圍在-45℃-0℃之間。
電氣工業(yè)應(yīng)用拂曉六氟化硫作為很高介電強(qiáng)度和良好的滅電弧性能,用作高壓開關(guān)、大容質(zhì)變壓器、高壓電纜、氣體絕緣資料等。六氟化硫氣體還能夠作為采礦工業(yè)用作反吸附劑,在礦井煤塵中可用于置換氧。